15854292545廈門風(fēng)淋室廠家：各行各業(yè)對無塵車間潔凈度等級的要求
時間：2019-03-11 19:38:55
廈門風(fēng)淋室廠家：各行各業(yè)對無塵車間潔凈度等級的要求現(xiàn)今，無塵車間潔凈技術(shù)已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染,、微生物污染的環(huán)境控制,，由于各行各業(yè)的產(chǎn)品特性不同,、各種產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝不相同，使用要求不同,，因此要求控制環(huán)境的內(nèi)容,、指標(biāo)均不會相同。所謂無塵車間的環(huán)境控制的內(nèi)容應(yīng)該包括：空氣凈化,、潔凈建筑,、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動,、噪聲,、靜電的控制、防止等,。所以無塵車間的設(shè)計不僅要求對室內(nèi)的空氣進行凈化達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度等級,，還必須防止因無塵車間的建造用材料、裝飾方式不當(dāng)帶來的污染,，有的無塵車間還要求供給超純水,、超純氣體和高純的化學(xué)品等。
1,、半導(dǎo)體集成電路要求的空氣潔凈度等級
集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級主要取決于集成電路的集成度,，不同工序的空氣潔凈度等級是依據(jù)可能污染的概率和對器件的潛在故障確定的。
舉例說明：
例一,、某廠集成電路前工序潔凈廠房,，無塵車間設(shè)計按加工、生產(chǎn)6英寸硅片,、1M集成電路,，圖形特形尺雨1.0um，控制粒子粒徑0..1um.
無塵車間空氣潔凈度等級要求：
| 光刻,、勻膠區(qū) | ISO 3級 |
| 離子注入,、刻蝕CVD、外延,、擴散等操作區(qū) | ISO 3級 |
| 離子注入、刻蝕CVD,、外延,、擴散等維修區(qū) | ISO 5級 |
例二,、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設(shè)計按加工,、生產(chǎn)5英寸硅片,、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um,，控制粒子粒徑0.2um.
無塵車間空氣潔凈度等級要求：
| 光刻,、勻膠區(qū) | ISO 3級 |
| 離子注入、刻蝕CVD,、外延,、擴散等操作區(qū) | ISO 4級 |
| 離子注入、刻蝕CVD,、外延,、擴散等維修區(qū) | ISO 6級 |
2、一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級
隨著信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展,，許多電子產(chǎn)品性能,、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過程的微細(xì)化，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級和控制無塵車間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類高純物質(zhì)的供給質(zhì)量,，目前國內(nèi)外還沒有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定,，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù),、生產(chǎn)工藝設(shè)備,、生產(chǎn)用原輔料以及無塵車間運行的實踐經(jīng)驗確定設(shè)計建造無塵車間的空氣潔凈度等級。
舉例說明：
例一,、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產(chǎn)用無塵車間,，TFT-LCD具有體積小、質(zhì)量輕,、易攜帶,、耗電低、色彩逼真,、大容量,、高分辨示等優(yōu)點。
各無塵車間空氣潔凈度等級,，控制粒子粒徑為0.3um
| 清洗,、涂膠、曝光間 | ISO 4級 |
| 顯影,、刻蝕間 | ISO 5級 |
| 成盒間 | ISO 5級 |
| 濺射,、CVD間 | ISO 6級 |
例二、某高密度磁帶生產(chǎn)用潔凈廠房、無塵車間控制微粒粒徑0.5um
各無塵車間的空氣潔凈度等級要求
| 涂布頭 | ISO 5級 |
| 備件,、切帶,、帶基、測試,、涂布間和烘干,、固化間 | ISO 6級 |
| 組裝、維修間和部分原料庫 | ISO 7級 |
| 砂磨,、化驗間和配件間 | ISO 8級 |
成品庫和部分原料庫準(zhǔn)潔凈間
3,、精密機械、精細(xì)化工等產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級
例一,、一個陀螺儀生產(chǎn)用無塵車間
無塵車間空氣潔凈度等級要求
| 裝配間 | ISO 6級 |
| 軸承加工間 | ISO 5級 |
例二,、一個感光膠片生產(chǎn)用無塵車間
| 流延機頭部，涂布機頭部 | ISO 5級 |
| 涂布室,，流延機室 | ISO 5級 |
